SEMICONDUCTOR SULFURIC ACID 반도체황산
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반도체황산
Semiconductor sulfuric acid
웨이퍼(Wafer) 가공시에 실리콘 표면에 부착되어 있는 유기물과 금속 오염물질은 고순도 황산이 첨가됨으로써 쉽게 산화되어 제거됩니다. 고려아연(주) 온산 공장 내에 17Line을 보유하여 고순도 황산을 안정적으로 생산하고 있습니다.
#기타금속
#반도체황산
제품용도
- 반도체 제조공정 중에서 주로 세정 공정에 사용
- 화학 & 비료산업
- 금속 제련
- 섬유 산업
- 강철 산업
- 제지 산업
- 방직 산업
상세정보
| Standard Specification (%) | |
|---|---|
| Assay | 96.0 ± 0.5% |
| Metal Impurities | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Arsenic (As) | Antimony (Sb) | Aluminum (Al) | Barium (Ba) | Berylium (Be) | Bismuth (Bi) | Cadmium (Cd) |
| 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max |
| Calcium (Ca) | Chromium (Cr) | Cobalt (Co) | Copper (Cu) | Potassium (K) | Gallium (Ga) | Germanium (Ge) |
| 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max |
| Gold (Au) | Iron (Fe) | Lead (Pb) | Lithium (Li) | Magnesium (Mg) | Manganese (Mn) | Molybdenum (Mo) |
| 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max |
| Nickel (Ni) | Niobium (Nb) | Zirconium (Zr) | Selenium (Se) | Silicon (Si) | Silver (Ag) | Sodium (Na) |
| 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max |
| Strontium (Sr) | Tantalum (Ta) | Thallium (Tl) | Tin (Sn) | Titanium (Ti) | Vanadium (V) | Zinc (Zn) |
| 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max | 0.1Max |
| Packing | Volume | Construction of Material |
|---|---|---|
| ISO Container | 12,000L | Teflon Lined sus 304 |
| IBC | 1,000L | |
| Drum | 200L | HDPE |
| Uses |
|---|
| Cleaning and Etching for Semiconductor Manufacturing Process |